[发明专利]分析样品的制备方法无效
| 申请号： | 201310062496.0 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103196713A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 陈强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分析样品的制备方法，包括：步骤一：提供一样品衬底，所述样品衬底上包括目标观察区域，所述目标观察区域内至少有一个目标沟槽或通孔；以及步骤二：采用FIB，在所述目标沟槽或通孔内沉积填充物。采用上述分析样品的制备方法所制备的分析样品，因为目标沟槽或通孔内被填充物填满，因此在后续在沉积金属保护层上时，因此不会在目标沟槽或通孔内形成空洞，从根本上避免了由于空洞造成的切割拉痕，也避免了金属保护层厚度不足而产生的离子损伤，从而有效提高了分析样品的SEM/TEM分析质量。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种分析样品的制备方法，包括：步骤一：提供一样品衬底，所述样品衬底上包括目标观察区域，所述目标观察区域内至少有一个目标沟槽或通孔；以及步骤二：采用FIB在所述目标沟槽或通孔内沉积填充物。
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