[发明专利]一种兼容高低温测试的探针卡无效
| 申请号： | 201310062522.X | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103091522A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 周柯;赵敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种兼容高低温测试的探针卡，包括基板、底座以及探针，所述底座固定于所述基板上，所述探针固定于所述底座上，所述探针的一端与基板上的电路相连通，另一端与晶圆相接触，所述基板上还设有冷却装置，所述冷却装置包括壳体，所述壳体上设有进气口和出气口，所述进气口连接至冷气源，所述出气口与所述底座和探针的位置相对应。本发明在基板上设置一冷却装置，当进行高温测试时，从所述进气口通入冷气，对所述底座以及探针进行降温；当进行低温测试时，关闭冷气源，正常测试，实现高低温测试的兼容，确保晶圆测试顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼容 低温 测试 探针 | ||
【主权项】：
一种兼容高低温测试的探针卡，包括基板、底座以及探针，所述底座固定于所述基板上，所述探针固定于所述底座上，所述探针的一端与基板上的电路相连通，另一端与晶圆相接触，其特征在于，所述基板上还设有冷却装置，所述冷却装置包括壳体，所述壳体上设有进气口和出气口，所述进气口连接至冷气源，所述出气口与所述底座和探针的位置相对应。
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