[发明专利]一种真空紫外光谱辐照度标定方法及系统

摘要

本发明涉及紫外辐射量测量技术领域，具体的讲是一种真空紫外光谱辐照度标定方法及系统。获取紫外光源115nm-400nm波段范围的紫外光谱辐亮度L(λ)；获取该紫外光源250nm-400nm波段范围的紫外光谱辐照度E(λ)；利用Ω＝E(λ)/L(λ)，计算得到250nm-400nm波段范围的光源立体角Ω；根据所述250nm-400nm波段范围的光源立体角Ω得到115nm～250nm波段范围内的光源立体角Ω1；利用E1(λ)＝L(λ)·Ω1得到115nm～250nm波段范围内的紫外光谱辐照度E1(λ)。通过本发明实施例解决了光源真空紫外光谱辐照度标定波长下限不能达到250nm以下的难题。

主权项

一种真空紫外光谱辐照度标定方法，其特征在于包括：获取紫外光源115nm‑400nm波段范围的紫外光谱辐亮度L(λ)；获取该紫外光源250nm‑400nm波段范围的紫外光谱辐照度E(λ)；根据所述紫外光谱辐亮度和紫外光谱辐照度，利用Ω＝E(λ)/L(λ)，计算得到250nm‑400nm波段范围的光源立体角Ω；根据所述250nm‑400nm波段范围的光源立体角Ω得到115nm～250nm波段范围内的光源立体角Ω1；根据115nm‑400nm波段范围的紫外光谱辐亮度L(λ)和所述115nm～250nm波段范围内的光源立体角Ω1，利用E1(λ)＝L(λ)·Ω1得到115nm～250nm波段范围内的紫外光谱辐照度E1(λ)。