[发明专利]一种抑制二级光谱的紫外光谱测量方法及系统有效
| 申请号： | 201310062603.X | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103148939A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 李世伟;孙红胜;王加朋;张玉国;孙广尉;任小婉;杨旺林 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学测试技术领域，具体的讲是一种抑制二级光谱的紫外光谱测量方法及系统，其中包括当进行110nm-200nm波段的紫外光谱测量时，将真空仓抽真空，紫外辐射透过所述真空仓的氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述氟化镁窗口用于吸收波段在110nm以下的紫外辐射；当进行200nm-400nm波段的紫外光谱测量时，向所述真空仓中注入气体，所述紫外辐射通过所述真空仓中的空气和所述氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述空气吸收波段在200nm以下的紫外辐射。通过本发明的实施例，在紫外光谱测量时光源光谱辐射度校准和探测器响应度校准中，将二级光谱的杂散辐射有效滤除，减少测量误差，提升测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 二级 光谱 紫外 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
一种抑制二级光谱的紫外光谱测量方法，其特征在于包括：当进行110nm‑200nm波段的紫外光谱测量时，将真空仓抽真空，紫外辐射透过所述真空仓的氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述氟化镁窗口用于吸收波段在110nm以下的紫外辐射；当进行200nm‑400nm波段的紫外光谱测量时，向所述真空仓中注入气体，所述紫外辐射通过所述真空仓中的空气和所述氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述空气吸收波段在200nm以下的紫外辐射。
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