[发明专利]一种用于键合工艺微缺陷检测的方法无效
| 申请号： | 201310063950.4 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103091339A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 谢历铭 | 申请（专利权）人： | 苏州爱特盟光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于键合工艺微缺陷检测的方法，它涉及键合工艺微缺陷检测技术领域，它包含一种图形化软件工艺编程的“四要素法”和一套对键合丝连接性进行判别的图形处理方法，所述的“四要素法”包括对器件的中心位置、键合起始点及允许误差、键合终点及允许误差和键合路径。它克服了传统人工目检方法下容易出现的漏检、错检问题，极大的提升了键合工艺生产线的良率和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 工艺 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种用于键合工艺微缺陷检测的方法，其特征在于它包含一种图形化软件工艺编程的“四要素法”和一套对键合丝连接性进行判别的图形处理方法。
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