[发明专利]一种微孔金属填充结构及方法有效

专利信息
申请号: 201310064231.4 申请日: 2013-02-28
公开(公告)号: CN103107129A 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 顾杰斌;黄绪国;李昕欣;杨恒;江翔 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;湖州中微科技有限公司
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 余明伟
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种微孔金属填充结构及方法,该填充结构包括密封腔、三明治结构;密封腔包括进出气孔;密封腔围成有容纳液态金属槽的空间;三明治结构包括由上至下依次叠加阻挡片、填充基片和喷嘴片;填充基片上设有填充微孔;喷嘴片上设有与填充微孔垂直对应的喷嘴孔;阻挡片与填充基片之间设有第一间隙;填充基片与喷嘴片之间设有第二间隙;喷嘴孔最窄处的半径小于填充微孔的半径的1/2以上;三明治结构的侧壁全部嵌入到密封腔内;喷嘴片的下表面在金属填充时紧贴液态金属槽的上表面。本发明利用压力差将液态金属槽中的金属吸入微米级别的填充微孔中,依据表面张力原理将已填充在微孔中的金属与金属槽在喷嘴孔中切断,填充速度快,时间短,准确度高。
搜索关键词: 一种 微孔 金属 填充 结构 方法
【主权项】:
一种微孔金属填充结构,其特征在于,所述微孔金属填充结构包括:密封腔,包括进出气孔;三明治结构,包括由上至下依次叠加阻挡片、填充基片和喷嘴片;所述填充基片夹在所述阻挡片和喷嘴片之间;所述填充基片上设有填充微孔;所述喷嘴片上设有与所述填充微孔垂直对应的喷嘴孔;所述阻挡片与填充基片之间设有第一间隙;所述填充基片与喷嘴片之间设有第二间隙;所述喷嘴孔最窄处的半径小于所述填充微孔的半径的1/2以上;所述三明治结构水平设置在所述空间中,且三明治结构的侧壁全部嵌入到所述密封腔内;所述喷嘴片的下表面用以在金属填充时紧贴一液态金属槽的上表面;所述密封腔内的气压与所述第一间隙、填充微孔、第二间隙以及喷嘴孔的气压均相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所;湖州中微科技有限公司,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所;湖州中微科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310064231.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top