[发明专利]偏振态层析显微成像装置及方法

摘要

本发明公开了一种偏振态层析显微成像装置及方法，该装置包括：激光器、偏振发生器、半反半透镜、显微物镜、第一分束器、第二分束器、第三分束器、四分之一波片、第一斯托克斯系统、第二斯托克斯系统、第三斯托克斯系统、第四斯托克斯系统、数据采集模块、计算机、驱动模块以及用于安装被测样品的X-Y扫描平台。本发明可获得被测样品的全方位的偏振信息，可对物体不同层面的偏振态进行检测和显微成像，可获得物体内部不同层面的应力大小和方向、物质的结构、分子排列取向、折射率、内部应力分布、表面电导率分布和表面粗糙度等信息，更为真实、准确地反映被测样品的信息，可广泛应用于偏振态测量领域中。

主权项

偏振态层析显微成像装置，其特征在于，包括：激光器（1）、偏振发生器（2）、半反半透镜（3）、显微物镜（4）、第一分束器（7）、第二分束器（8）、第三分束器（18）、四分之一波片（9）、第一斯托克斯系统（100）、第二斯托克斯系统（200）、第三斯托克斯系统（300）、第四斯托克斯系统（400）、数据采集模块（27）、计算机（28）、驱动模块（29）以及用于安装被测样品（5）的X‑Y扫描平台（6）；所述激光器（1）发出的激光经偏振发生器（2）后得到偏振激光并入射到半反半透镜（3），从半反半透镜（3）反射的偏振激光通过显微物镜（4）聚焦到被测样品（5）上并发生反射，从被测样品（5）反射的偏振激光依次通过显微物镜（4）及半反半透镜（3）入射到第一分束器（7）上，并分成光强相等的第一光束（Ⅰ）及第二光束（Ⅱ），所述第一光束（Ⅰ）入射到第二分束器（8）并分成光强相等的第三光束（Ⅲ）及第四光束（Ⅳ），所述第二光束（Ⅱ）入射到第三分束器（18）并分成光强相等的第五光束（Ⅴ）及第六光束（Ⅵ）；所述第三光束（Ⅲ）通过四分之一波片（9）入射到第一斯托克斯系统（100），所述第四光束（Ⅳ）入射到第二斯托克斯系统（200），所述第五光束（Ⅴ）入射到第三斯托克斯系统（300），所述第六光束（Ⅵ）入射到第四斯托克斯系统（400），所述第一斯托克斯系统（100）、第二斯托克斯系统（200）、第三斯托克斯系统（300）及第四斯托克斯系统（400）均与数据采集模块（27）连接，所述数据采集模块（27）与计算机（28）连接，所述计算机（28）通过驱动模块（29）与X‑Y扫描平台（6）连接。