[发明专利]一种激光二极管的制造方法

摘要

本发明公开了一种激光二极管的制造方法，其依次包括如下步骤：在蓝宝石衬底上形成氧化镍薄膜；在氧化镍薄膜的上表面上形成镁砷共掺杂的p型ZnO晶体薄膜；在所述衬底的下表面上和所述镁砷共掺杂的p型ZnO晶体薄膜的上表面上溅射金属材料，从而分别形成底电极和顶电极。

主权项

一种激光二极管的制造方法，其依次包括如下步骤：第一步，选取蓝宝石作为衬底，将该衬底放置到具有无水乙醇的超声波振荡器中进行清洗，以去除衬底表面的油脂，然后再将其放置到具有去离子水的超声波振荡器中进行清洗，以去除残余的无水乙醇；第二步，将所述衬底放入磁控溅射反应室中，通过射频磁控溅射工艺在所述衬底上形成300‑600nm厚度的氧化镍薄膜；第三步，将纯度为99.99％的氧化锌粉末、镁的摩尔含量为8‑13%的氧化镁粉末以及砷的摩尔含量为0.5‑1.5％的氧化砷粉末进行混合，然后压制形成靶材；然后将完成第二步所得的衬底放入磁控溅射反应室中，利用射频磁控溅射方法，在惰性气体环境中将靶材溅射沉积在所述氧化镍薄膜的上表面上，从而形成厚度为200‑400nm的镁砷共掺杂的p型ZnO晶体薄膜；第四步，对完成第三步的衬底进行热退火，退火气氛为氧气，退火温度为700℃，退火时间为40分钟，退火后自然冷却；第五步，在所述衬底的下表面上和所述镁砷共掺杂的p型ZnO晶体薄膜的上表面上溅射金属材料，从而分别形成底电极和顶电极。