[发明专利]多元素的化学蒸气发生装置及其方法

摘要

本发明提供的多元素的化学蒸气发生装置及其发生方法。该化学蒸气发生装置，包括吸液部、储液部、至少一个吸液泵、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部和混合气体输出接口，吸液部、储液部、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部各具有多个通道，各个部分具有的通道数量相同且各自的通道一一对应地连通，通道数量与需进行化学蒸气发生的元素的种类数量相同。本发明保证了在多种元素同时检测时，对于每种元素检测的准确性和可靠性，而且缩短了分析时间、减少了分析成本，提高了分析效率。

主权项

一种多元素的化学蒸气发生装置，其特征在于，包括吸液部、储液部、至少一个吸液泵、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部和混合气体输出接口，吸液部、储液部、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部各具有多个通道，各个部分具有的通道数量相同且各自的通道一一对应地连通，通道数量与需进行化学蒸气发生的元素的种类数量相同，储液部的每个通道包括依次连通的第一三通阀、储液环和第二三通阀，吸液部的输出端、推液泵部的输出端与第一三通阀的输入端连通，第二三通阀的输出端与吸液泵的输入端及气液分离部的输入端连通，还原剂泵部与气液分离部的输入端连通，载气部与气液分离部连通，混合气输出接口与气液分离部的输出端连通。