[发明专利]一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置无效
申请号: | 201310070088.X | 申请日: | 2013-03-06 |
公开(公告)号: | CN103147131A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 陆利新;张生才;李桂琴;陈荣莲 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 陆聪明 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置,包括气帘管,风箱,气帘形成导向壁和出风口;所述气帘管固定在所述风箱的顶部,气帘管上固定有进风口,所述气帘形成导向壁成漏斗形,所述出风口连接于气帘形成导向壁的下部。采用本装置可以形成多层气帘隔离屏,从而将连续通过式扩散炉管与外界常温常压环境隔离,防止炉管内具有毒性的气体外泄到车间环境影响操作工人身体健康。隔离屏将炉管内的热量外泄降至最小,使得炉管内持续保持高温。本发明实现节能环保的同时提高温控精度,使炉内温度、气场分布均匀,从而极大提高扩散的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 连续 扩散 多层 隔离 装置 | ||
【主权项】:
一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置,其特征在于,包括气帘管(1),风箱(2),气帘形成导向壁(3)和出风口(4);所述气帘管(1)固定在所述风箱(2)的顶部,气帘管(1)上固定有进风口(6),所述气帘形成导向壁(3)成漏斗形,所述出风口(4)连接于气帘形成导向壁(3)的下部。
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