[发明专利]用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置

摘要

本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液减振回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、多孔介质；密封和注液回收装置由浸没单元上端盖、浸没单元中间体、浸没单元下端盖和浸没单元下端盖配件组成。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能，实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏，采用气液减振回收结构实现气体和液体的回收，在低速情况下,避免了气液两相流的产生，在高速情况下,减弱了气液两相流带来的振动。无论硅片往哪个方向运动，缓冲腔结构使缝隙流场具有自适应调节功能。

主权项

一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置，在浸没式光刻机中的投影物镜组（1）和硅片（3）之间装有的气密封和气液减振回收装置；其特征在于：所述气密封和气液减振回收装置包括密封和注液回收装置（2）、多孔介质（4）；密封和注液回收装置（2）由浸没单元上端盖（2A）、浸没单元中间体（2B）、浸没单元下端盖（2C）和浸没单元下端盖配件（2D）组成；其中：1）浸没单元上端盖（2A）：在浸没单元上端盖（2A）开有中心通孔，在浸没单元上端盖（2A）的中心通孔向外的六个同心圆上分别依次开有两个对称的注液槽（5A），两个对称的缓冲槽（6A）、两个液体回收槽（7A）、两个内密封注气槽（8A）、两个中密封注气槽（9A）、两个外密封注气槽（10A）；两个注液槽（5A）、两个液体回收槽（7A）、两个内密封注气槽（8A）、两个中密封注气槽（9A）、两个外密封注气槽（10A）均分别与各自的孔道连接，各孔道又通过螺纹连接的方式与外部管路相连接，外部管路包括液体注入管路、液体回收管路、气体注入管路，分别完成浸没单元的液体注入与回收、气体注入功能；2）浸没单元中间体（2B）：在浸没单元中间体（2B）开有中心通孔，在浸没单元中间体（2B）的中心通孔向外依次有两个对称的浸没单元中间体注液腔（5B）、第一O型圈用沟槽（11B）、六个对称分布的浸没单元中间体缓冲腔（6B）、两个对称的浸没单元中间体液体回收腔（7B）、第二O型圈用沟槽（12B）、六个对称的浸没单元中间体内密封注气腔（8B）、第三O型圈用沟槽（13B）、六个对称的浸没单元中间体中密封注气腔（9B）、第四O型圈用沟槽（14B）、六个对称的浸没单元中间体外密封注气腔（10B）和第五O型圈用沟槽（15B）；中心通孔与两个对称的浸没单元中间体注液腔（5B）之间有凸起台阶（16B）；浸没单元中间体缓冲腔（6B）与浸没单元中间体液体回收腔（7B）之间有个凸起的斜面台阶（17B）；3）浸没单元下端盖（2C）：在浸没单元前端盖（2C）开有中心通孔，浸没单元前端盖（2C）的中心通孔向外依次有注液用台阶（18C）、第六O型圈用沟槽（11C）、浸没单元下端盖缓冲腔（6C）、回收用斜面（19C）、第七O型圈用沟槽（12C）、浸没单元下端盖内密封注气腔（8C）、第八O型圈用沟槽（13C）、浸没单元下端盖中密封注气腔（9C）、第九O型圈用沟槽（14C）、浸没单元下端盖外密封注气腔（10C）和第十O型圈用沟槽（15C）；注液用台阶（18C）与凸起台阶（16B）配合形成浸没单元下端盖注液腔；浸没单元下端盖缓冲腔（6C）内开有二十五个均匀分布的腰子槽；回收用斜面（19C）与凸起的斜面台阶（17B）配合形成浸没单元下端盖液体回收腔（7C）；第七O型圈用沟槽（12C）与浸没单元下端盖内密封注气腔（8C）联通，形成一个气体压力缓冲腔，缓冲腔内开有内注气孔阵列（20C）；第八O型圈用沟槽（13C）与浸没单元下端盖中密封注气腔（9C）联通，形成一个气体压力缓冲腔，缓冲腔内开有中注气孔阵列（21C）；第九O型圈用沟槽（14C）与浸没单元下端盖外密封注气腔（10C）联通，形成一个气体压力缓冲腔，缓冲腔内开有外注气孔阵列（22C）；4）浸没单元下端盖配件（2D）：在浸没单元下端盖配件（2D）开有中心通孔，浸没单元下端盖配件（2D）的中心通孔向外有一气密封用斜面（23 D）；所述的浸没单元下端盖配件（2D）上端面与浸没单元下端盖（2C）下端面，浸没单元下端盖（2C）上端面与浸没单元中间体（2B）下端面，浸没单元中间体（2B）上端面与浸没单元上端盖（2A）下端面相配合，并通过螺钉紧固连接；3）多孔介质（4）：有多孔介质（4）填充在浸没单元下端盖缓冲腔（6C）内。