[发明专利]高频加热装置有效
| 申请号： | 201310071164.9 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN103313448A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李会官;尹敬敏;曹瑞英 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | H05B6/02 | 分类号： | H05B6/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 于未茗;宋志强 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种通过将高频波应用于基板而对基板进行加热的高频加热装置。所述高频加热装置包括产生高频以对基板进行加热的高频发生器。从所述基板到所述高频发生器的距离是n/2*λ，其中n是从1到6范围内的自然数，并且λ是由所述高频发生器产生的高频的波长。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种高频加热装置，包括产生高频以对基板进行加热的高频发生器，其中从所述基板到所述高频发生器的距离是n/2*λ，其中n是从1到6范围内的自然数，并且λ是由所述高频发生器产生的高频的波长。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星康宁精密素材株式会社，未经三星康宁精密素材株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310071164.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
