[发明专利]一种圆柱度误差的拼接干涉测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种圆柱度误差的拼接干涉测量装置及方法，该装置包括装有测量数据处理软件的计算机(1)，与计算机1连接的平面干涉仪(2)，计算全息透镜(3)，六维被测圆柱调整机构(5)和六维计算全息透镜调整机构(6)，其特征在于：所述的装有测量数据处理系统的计算机(1)用于接收来自平面干涉仪(2)发来的测量数据，对数据分析比较后，通过测量数据处理软件对输入的被测圆柱(4)中各子孔径测量数据进行拼接处理，拼接获得被测圆柱(4)的圆柱度误差。采用上述测量装置进行测量，其采样数据密度高、采样速度快，能够提高圆柱度误差测量的速率和测量精度。

主权项

一种圆柱度误差的拼接干涉测量装置，包括装有测量数据处理软件的计算机(1)，与计算机(1)连接的平面干涉仪(2)，计算全息透镜(3)，六维被测圆柱调整机构(5)和六维计算全息透镜调整机构(6)，其特征在于：所述的装有测量数据处理系统的计算机(1)用于接收来自平面干涉仪(2)发来的测量数据，对数据分析比较后，通过测量数据处理软件对输入的被测圆柱(4)中各子孔径测量数据进行拼接处理，拼接获得被测圆柱(4)的圆柱度误差；所述的平面干涉仪(2)，用于测量被测圆柱(4)的各子孔径数据经计算机(1)拼接，获得被测圆柱(4)的圆柱度误差数据；所述的计算全息透镜(CGH)(3)位于平面干涉仪(2)前方，用于将平面干涉仪(2)出射的平面波转变成焦轴线为竖直向上的标准柱面波；所述的六维计算全息透镜调整机构(6)由三个直线运动轴和三个转动轴组成，即，由直线运动X轴、直线运动Y轴、直线运动Z轴、转动A轴、转动B轴、转动C轴组成，用于以调整计算全息透镜(CGH)(3)的位置和姿态，使平面干涉仪(2)发出的平面波经计算全息透镜(CGH)(3)后转变成焦轴线为竖直方向的标准柱面波；所述的六维被测圆柱调整机构(5)由三个直线运动轴和三个转动轴组成，即，由直线运动X轴、直线运动Y轴、直线运动Z轴、转动A轴、转动B轴、转动C轴组成，用于以调整被测圆柱(4)的位置和姿态，使得标准柱面波能大致沿着被测圆柱(4)上划分的第一个子孔径区域的面法线方向入射到其表面上，在平面干涉仪(2)上可观察到条纹。