[发明专利]石墨烯铱纳米导电催化薄膜的制备方法

摘要

一种石墨烯铱纳米导电催化薄膜的制备方法，属于纳米导电薄膜制备领域。本方法以铱板为靶板通过双层辉光等离子表面合金化在石墨烯表面制备石墨烯铱纳米导电催化薄膜。在真空辉光放电装置中以铱板和氧化石墨烯薄片为阴极，真空室外壳为公用阳极，在阳极和阴极之间分别设置可调压直流电源。抽真空至极限真空度，送入氩气，点燃辉光，同时氩等离子体作用在氧化石墨烯表面将其还原为石墨烯，源极铱靶的元素粒子被溅射出来，通过高温扩散与石墨烯形成纳米导电催化薄膜层。本方法是一种物理制备方法，具有快速、高效、绿色环保的特点。

主权项

一种石墨烯铱纳米导电催化薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将铱板和氧化石墨烯薄片装入真空辉光放电装置中，以铱板为第一阴极，以氧化石墨烯为第二阴极，真空室外壳为公用阳极，在公用阳极和第一阴极，公用阳极和第二阴极之间分别设置可调压直流电源，两套可调压直流电源以接地的真空室外壳为公用阳极；（2）调节可调压直流电源电压输出范围在0~1500V；（3）调整第一阴极和第二阴极之间的间距为3~30mm；（4）抽真空至极限真空度，极限真空度不低于0.1Pa；（5）送入氩气，点燃辉光，放电气压为15~105Pa；（6）产生的氩等离子体将氧化石墨烯还原为石墨烯，同时第一阴极铱靶的元素粒子被溅射出来，被石墨烯中的碳原子俘获进而形成纳米导电催化薄膜，此过程中源极电位在﹣700V~﹣1500V，工件电位在﹣100V~﹣1000V；（7）1min‑5min后，断电、充气、打开真空辉光放电装置，取出制得的石墨烯铱纳米导电催化薄膜。