[发明专利]一种基于红外成像的薄膜测厚仪有效

专利信息
申请号: 201310073337.0 申请日: 2013-03-08
公开(公告)号: CN103175478A 公开(公告)日: 2013-06-26
发明(设计)人: 赵斌;曹智颍;汪琛;陈海平 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种基于红外成像的薄膜测厚仪,包括光源、准直透镜、分光棱镜、参考路散射玻璃、参考路红外滤光片、参考路反射镜、测量路散射玻璃、测量路红外滤光片、测量路反射镜、半透半反分光镜、成像透镜、CCD;测量时参考物经反射镜、分光镜和成像透镜成像到CCD光敏面,被测物经反射镜和成像透镜也成像到CCD光敏面,CCD将图像传送至计算机,经图像处理后根据图像的灰度值求得被测物的厚度;如此形成双光路测量系统,避免了光源光强变化的影响;使用散射光透射成像的测量体系,避免了传统红外测厚装置中存在的干涉影响;设置具有多个局部标准厚度的参考物,该装置可以获取参考物各个局部标准厚度,从而能够更加精确地测量薄膜厚度。
搜索关键词: 一种 基于 红外 成像 薄膜 测厚仪
【主权项】:
一种基于红外成像的薄膜测厚仪,其特征在于,它包括光源(1)、准直透镜(2)、分光棱镜(3)、参考路散射玻璃(4)、参考路视场光阑(6)、参考路红外滤光片(7)、参考路反射镜(8)、测量路散射玻璃(9)、测量路视场光阑(11)、测量路红外滤光片(12)、测量路反射镜(13)、半透半反分光镜(14)、成像透镜(15)和CCD(16);所述准直透镜(2)、分光棱镜(3)、参考路散射玻璃(4)、参考路视场光阑(6)参考路红外滤光片(7)、参考路反射镜(8)的几何中心在水平方向位于同一轴线上,组成参考光路;所述分光棱镜(3)、测量路散射玻璃(9)、测量路视场光阑(11)、测量路红外滤光片(12)和测量路反射镜(13)的几何中心在竖直方向位于同一轴线上,组成测量光路;所述参考路反射镜(8)的反射镜与入射光45°夹角放置,所述测量路反射镜(13)的反射镜与入射光45°夹角放置;两光路各光学元件相对分光棱镜(3)呈对称布置,相互对称的光学元件相同;半透半反分光镜(14)的反射面与测量路反射镜(13)的反射面相同;所述半透半反分光镜(14)同时位于测量路反射镜(13)和参考路反射镜(8)的反射光路上;成像透镜(15)和CCD(16)依次位于半透半反分光镜(14)之后,光轴水平。
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