[发明专利]玻璃片及其制造方法、制造含玻璃片的半导体器件的方法在审
| 申请号： | 201310073477.8 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103304129A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·布赖迈斯塞尔;弗朗西斯科·哈维尔·桑托斯罗德里格斯;卡斯滕·冯科布林斯基;安德烈·布罗克迈耶 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B11/00 | 分类号： | C03B11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李静 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及玻璃片和制造玻璃片的方法及制造微型射流系统的方法、制造集成光学装置的方法、制造具有玻璃片的半导体器件的方法。基于玻璃的源材料，其被设置在塑模衬底的工作表面上。该塑模衬底由单晶材料制成。在工作表面中形成腔体。该源材料被压在塑模衬底上。按压期间，控制源材料的温度和源材料上施加的压力，从而使源材料流体化。流体化的源材料流入该腔体。再固化的源材料形成具有突出物的玻璃片，该突出物延伸进入腔体。在再固化以后，玻璃片可以被结合到塑模衬底。在玻璃片上，能够形成突出物和腔体，其倾斜角小于80度，具有不同倾斜角，不同深度和10微米或更宽的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃片 及其 制造 方法 半导体器件 | ||
【主权项】：
一种制造玻璃片的方法，所述方法包括：使基于玻璃的源材料接触由单晶材料制成的塑模衬底的工作表面，所述工作表面设置有腔体；和将所述源材料和所述塑模衬底压在彼此上，其中，控制所述源材料的温度和在所述源材料上施加的力，使得流体化的源材料流入所述腔体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310073477.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
