[发明专利]一种锆钛酸铅厚膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201310075338.9 申请日: 2013-03-11
公开(公告)号: CN103193482A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 朱本鹏;郭万克;张悦;陈实;杨晓非 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: C04B35/491 分类号: C04B35/491;C04B35/622
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 李佑宏
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种锆钛酸铅厚膜的制备方法,用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜,该方法具体包括:在高压釜内胆中配置前驱溶液;将钛片垂直浸入前驱溶液中,并将高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌;最后,取出钛片,即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅(PZT)厚膜。本发明还公开了一种利用上述方法制备的锆钛酸铅厚膜。本发明发明的制备过程在液相中一次完成,不需要后期热处理,避免了温度过高导致基板与厚膜之间成分互扩散,而且膜的厚度可以通过重复结晶过程的次数来控制,简单可行,另外所制备的膜不受衬底的尺寸和形状控制,PZT厚膜可以制备在三维结构的表面,而且制备的PZT厚膜表面均匀,成分在准同型相界附近。
搜索关键词: 一种 锆钛酸铅厚膜 及其 制备 方法
【主权项】:
一种锆钛酸铅厚膜的制备方法,用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜,其特征在于,该方法具体包括:在高压釜内胆中配置前驱溶液;将所述钛片垂直浸入所述前驱溶液中,并将所述高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌;最后,取出钛片,即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅(PZT)厚膜。
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