[发明专利]一种锆钛酸铅厚膜及其制备方法有效
申请号: | 201310075338.9 | 申请日: | 2013-03-11 |
公开(公告)号: | CN103193482A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 朱本鹏;郭万克;张悦;陈实;杨晓非 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C04B35/491 | 分类号: | C04B35/491;C04B35/622 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李佑宏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种锆钛酸铅厚膜的制备方法,用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜,该方法具体包括:在高压釜内胆中配置前驱溶液;将钛片垂直浸入前驱溶液中,并将高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌;最后,取出钛片,即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅(PZT)厚膜。本发明还公开了一种利用上述方法制备的锆钛酸铅厚膜。本发明发明的制备过程在液相中一次完成,不需要后期热处理,避免了温度过高导致基板与厚膜之间成分互扩散,而且膜的厚度可以通过重复结晶过程的次数来控制,简单可行,另外所制备的膜不受衬底的尺寸和形状控制,PZT厚膜可以制备在三维结构的表面,而且制备的PZT厚膜表面均匀,成分在准同型相界附近。 | ||
搜索关键词: | 一种 锆钛酸铅厚膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种锆钛酸铅厚膜的制备方法,用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜,其特征在于,该方法具体包括:在高压釜内胆中配置前驱溶液;将所述钛片垂直浸入所述前驱溶液中,并将所述高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌;最后,取出钛片,即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅(PZT)厚膜。
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