[发明专利]蒸镀装置

摘要

本发明公开一种蒸镀装置，包括多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。

主权项

一种蒸镀装置，包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度，所述传感器单元包括布置有所述传感器组的多个传感器的旋转盘和分别与所述多个传感器对应地设置于所述旋转盘的多个电阻，所述多个传感器组的多个传感器相隔相同的间距在所述旋转盘的下面被排列为圆形，所述多个电阻具有互不相同的电阻值，所述主控制单元通过识别所述多个电阻的电阻值来识别分别对应于所述多个电阻的所述多个传感器的原始号码。