[发明专利]一种碳钛复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种碳钛复合涂层，由依次沉积在基体上的纯钛底层、碳-钛过渡层和纳米多层复合顶层构成，所述的纳米多层复合顶层由碳-钛复合纳米层和碳纳米层交替沉积而成，所述的碳-钛复合纳米层与碳-钛过渡层接触，所述的碳-钛复合纳米层由TiC晶粒和非晶碳构成，所述的碳纳米层由非晶碳构成，具有高硬度、低应力、较大厚度、低摩擦系数及优异耐磨性等优点，可应用在轴承、陀螺仪、齿轮和金属切削工具等表面，也可应用于生物医学中，如人工髋关节表面等，可大大提高材料的使用寿命。本发明还公开了一种碳钛复合涂层的制备方法，采用闭合场非平衡磁控溅射法，碳钛复合涂层与基体结合良好，同时便于连续化工业生产。

主权项

一种碳钛复合涂层，其特征在于，由依次沉积在基体上的纯钛底层、碳‑钛过渡层和纳米多层复合顶层构成，所述的纳米多层复合顶层由碳‑钛复合纳米层和碳纳米层交替沉积而成，所述的碳‑钛复合纳米层与碳‑钛过渡层接触，所述的碳‑钛复合纳米层由TiC晶粒和非晶碳构成，所述的碳纳米层由非晶碳构成。