[发明专利]一种柔性超薄玻璃的制备方法有效
| 申请号： | 201310078708.4 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN104045221A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 万青;郭立强;杨园园;竺立强;张洪亮;吴国栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C03B19/00 | 分类号： | C03B19/00;C03B18/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法，采用化学气相沉积技术，在低熔点的锡溶液上首先制备一层氮化硅薄膜，再制备一层二氧化硅薄膜，最后抽取Si3N4/SiO2膜，根据柔性玻璃的用途进行相应的抛光处理。本发明还公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法，采用碎玻璃粉溶凝技术。本发明两种柔性超薄玻璃的制备方法简单、制作原材料来源丰富、价格便宜、均可获得厚度为1μm～50μm的柔性超薄玻璃，且得到的超薄玻璃柔性高、光透射率好。本发明得到的柔性超薄玻璃具有极强的应用潜力，可在TFT-LCD液晶显示领域和薄膜太阳电池等新能源领域得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 超薄 玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，采用化学气相沉积技术，具体包括如下步骤：（1）将盛有金属锡的制模槽放入化学气相沉积系统的腔室中，调节腔室温度为300℃～600℃；（2）利用化学气相沉积技术，在所述的金属锡的表面依次制备氮化硅层和二氧化硅层；（3）抽取金属锡表面的氮化硅/二氧化硅层进行抛光处理，除去氮化硅层，即得到所述的柔性超薄玻璃。
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