[发明专利]载体清洗装置和载体清洗方法无效
| 申请号： | 201310078835.4 | 申请日： | 2013-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN104043605A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘红义;苏晓峰;荣延栋;王宝全 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100026 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种载体清洗装置和载体清洗方法，涉及化学气相沉积技术领域，避免了载体清洗过程中人员直接接触氢氟酸，降低了安全隐患的风险。该载体清洗装置，包括：清洗槽，清洗槽中设置有鼓泡机构和喷淋机构；加热水箱，通过管道连接于清洗槽；酸液回收槽，通过管道连接于清洗槽。该载体清洗方法，包括：加热水箱将加热后的纯水注入清洗槽；清洗槽中进行氮气鼓泡对载体进行清洗；排放清洗槽中的废水；向清洗槽中注入氢氟酸溶液对载体进行浸泡；清洗槽中的氢氟酸溶液排入酸液回收槽进行回收；清洗槽中对载体进行纯水喷淋；加热水箱将加热后的纯水注入清洗槽；清洗槽中进行氮气鼓泡对载体进行清洗；排放清洗槽中的废水。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种载体清洗装置，用于CVD设备中载体的清洗，其特征在于，包括：清洗槽，所述清洗槽中设置有鼓泡机构和喷淋机构；加热水箱，通过管道连接于所述清洗槽；酸液回收槽，通过管道连接于所述清洗槽。
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