[发明专利]转动角度的测量方法有效
申请号: | 201310079648.8 | 申请日: | 2013-03-13 |
公开(公告)号: | CN103185550A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 张书练;陈文学;谈宜东 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人: | 哈达 |
地址: | 100084 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种转动角度的测量方法,包括以下步骤:半外腔激光器连续输出激光,模式为单纵模;将待测样品与所述双折射元件固定连接,所述待测样品带动所述双折射元件共同转动;转动所述待测样品及所述双折射元件,使所述双折射元件以垂直于输出激光方向的轴线为旋转轴旋转角度θ;驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动,计算在θ角度下产生的位相延迟δ的大小,并进一步计算出所述转动角度θ的大小。 | ||
搜索关键词: | 转动 角度 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种转动角度的测量方法,包括以下步骤:步骤S10,提供一测量装置,包括一半外腔激光器、激光回馈单元以及一数据采集与处理系统;所述半外腔激光器包括一高反腔镜、增益管、增透窗片以及输出腔镜沿半外腔激光器的输出激光轴线依次共轴设置;所述激光回馈单元包括一双折射元件以及一外腔平面反射镜沿所述半外腔激光器输出激光的光路依次间隔设置,以将从输出腔镜输出的激光反射回半外腔激光器形成激光回馈并从高反腔镜输出;所述数据采集与处理系统包括一光电探测器,所述光电探测器设置于所述从高反腔镜输出的激光的光路上,以探测输出的激光强度的变化;步骤S11,半外腔激光器连续输出激光,模式为单纵模;步骤S12,将待测样品与所述双折射元件固定连接;步骤S13,以垂直于输出激光方向的轴线为旋转轴转动所述待测样品,旋转角度为θ,所述待测样品带动所述双折射元件共同转动;步骤S14,驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动,通过偏振跳变点获得在θ角度下产生的位相延迟δ的大小,并得到所述转动角度θ的大小:
,其中,
,其中,φo、φe为o光和e光的相位;d为双折射元件厚度;λ为半外腔激光器输出的激光波长;θo、θe为o光和e光折射角,θ为入射角;noo为光线斜入射时双折射元件中o光折射率,nee为e光折射率;t为双折射元件的透过率,t下标中o、e表示o光和e光,a表示空气,b表示双折射元件;r为反射系数;no为光线正入射时双折射元件中o光折射率,ne为e光折射率;E(为进入双折射元件的初始光场,E为考虑干涉后的光场分布;ω为激光的角频率,k为波数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310079648.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。