[发明专利]探针装置和探针装置的探针卡安装方法

摘要

本发明提供一种搬送探针卡且进行安装时能够可靠地进行交接、并能够抑制探针卡地破损等的发生的探针装置和探针装置的探针卡安装方法，其包括：卡夹持机构；晶片吸盘；盘，其下表面配置有对位用标记；盘支承机构，其能够支承盘；摄像机；移动机构，其用于将盘搬入到与盘支承机构的交接位置；和控制单元，其利用摄像机对通过移动机构配置于交接位置的盘的对位用标记进行摄像，检测该对位用标记的位置，当对位用标记的位置位于规定的范围内时，进行从移动机构到盘支承机构的探针卡的交接；当对位用标记的位置位于规定的范围外时，中止从移动机构到盘支承机构的探针卡的交接。

主权项

一种探针装置，其特征在于，包括：卡夹持机构，其将具有多个探针的探针卡可装卸地固定；晶片吸盘，其能够载置半导体晶片，通过驱动驱动机构使形成于所述半导体晶片的电极与由所述卡夹持机构固定的所述探针卡的所述探针接触；盘，其在上表面载置所述探针卡，在下表面配置有对位用标记；盘支承机构，其配置于所述晶片吸盘的周围，通过所述驱动机构能够移动，用于支承所述盘；摄像机，其能够对所述对位用标记进行摄像；移动机构，其用于将所述盘搬入到与所述盘支承机构的交接位置；和控制单元，其利用所述摄像机对通过所述移动机构被配置于所述交接位置的所述盘的所述对位用标记进行摄像，检测该对位用标记的位置，在所述对位用标记的位置位于规定的范围内的情况下，进行从所述移动机构向所述盘支承机构的所述盘的交接，在所述对位用标记的位置位于规定的范围外的情况下，中止从所述移动机构向所述盘支承机构的所述盘的交接。