[发明专利]一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明属于透明导电薄膜技术领域，具体为一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法。本发明首先以ZnO和TiO2粉末为原料，经过人工研磨或机械球磨混合均匀，将混合粉末装入粉末压片机，制成圆柱状靶材坯料，将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中，在温度为800oC～1200oC之间烧结8～12小时即得到掺钛氧化锌陶瓷靶材，将烧制好的掺钛氧化锌靶材放入电子束蒸发镀膜设备的坩埚内，抽至本底真空，进行电子束蒸发镀膜，控制电子束流和沉积时间即得到掺钛氧化锌透明导电薄膜。本发明方法具有操作简单易控、时间短、沉积速率高等特点，在太阳电池及透明电子器件领域具有较好的应用前景。

主权项

一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于该方法的具体步骤为：采用ZnO和TiO2为原料，经过人工研磨或机械球磨4小时以上，使之混合均匀，将混合粉末装入压片机在30～50 MPa的压力下保持1～3分钟，制成直径和厚度分别为1.4 cm和 2.1 mm的圆柱状靶材坯料，将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中，控制温度为800oC～1200oC烧结8～12小时即得到掺钛氧化锌陶瓷靶材；将烧制好的靶材放入电子束蒸发镀膜设备的铜坩埚或碳坩埚内，抽真空至1×10‑4Pa以下，进行电子束蒸发镀膜，控制电子束流为20 mA～250 mA，蒸发时间为5～45 分钟，即得到掺钛氧化锌透明导电薄膜。