[发明专利]表面性能测定仪及表面性能测定方法

摘要

一种表面性能测定仪及表面性能测定方法，执行包含如下动作助起动区间设定动作，使触针向原点移动，当触针到达原点位置，则将触针制动，使触针在越过原点位置的状态下停止，在该状态下，等待测定开始的指示；工件调整动作，使停止的触针和工件的测定部位接触；助起动动作，使停止的触针向与所述越过方向反向的测定方向移动；测定动作，当触针通过助起动动作而穿过了原点位置，则取得来自检测器的检测数据的同时继续触针的移动。

主权项

一种表面性能测定仪，其用触针跟踪工件的表面，对所述工件的表面性能进行测定，其特征在于，具有：使所述触针移动的驱动机构、对所述触针的位移进行检测的检测器、对所述驱动机构及所述检测器进行控制的控制装置，所述控制装置具有对所述工件的表面的指定范围进行测定的通常测定模式和对所述工件的狭小部分进行测定的狭窄部测定模式，在所述狭窄部测定模式中，所述控制装置使所述驱动机构及所述检测器执行如下的动作：助起动区间设定动作，通过所述狭窄部测定模式的指定而起动，使所述触针向原点移动，当所述触针到达所述原点位置，则将所述触针制动，使所述触针在越过所述原点位置的状态下停止，在该状态下，等待测定开始的指示；助起动动作，通过所述测定开始的指示而起动，使停止的所述触针向与所述越过方向反向的测定方向移动；测定动作，当所述触针通过所述助起动动作而穿过了所述原点位置，则取得来自所述检测器的检测数据的同时继续所述触针的移动。