[发明专利]非极性面氮化镓纳米锥材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种非极性面氮化镓纳米锥材料的制备方法。该非极性面氮化镓纳米锥材料包括依次层叠结合的铝酸锂衬底、氮化镓缓冲层和氮化镓模板层以及生长在所述氮化镓模版层外表面的氮化镓纳米锥。其制备方法包括获取铝酸锂衬底、外延氮化镓缓冲层、外延氮化镓模板层和生长氮化镓纳米锥的步骤。本发明非极性面氮化镓纳米锥材料在氮化镓层外表面生长有氮化镓纳米锥，且该氮化镓纳米锥阵列分布。同时，该无金属杂质污染，晶体质量高。其制备方法直接采用HCl气体辅助生长氮化镓纳米锥，避免了使用催化剂或其它掩膜；另外，根据应用需求可以对氮化镓纳米锥阵列的质量、结构，该方法简单易行，对于退火设备要求不高。

主权项

一种非极性面氮化镓纳米锥材料的制备方法，包括如下步骤：获取铝酸锂衬底；在所述铝酸锂衬底上外延氮化镓缓冲层；在所述缓冲层外表面外延氮化镓模板层；通过HCl气体辅助生长，在所述氮化镓模板层上于700～900℃生长非极性氮化镓纳米锥。