[发明专利]点衍射干涉仪小孔板的支撑结构无效
| 申请号： | 201310085979.2 | 申请日： | 2013-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103217225A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 马冬梅;邵晶;张海涛;聂真威;周烽;卢增雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 点衍射干涉仪小孔板的支撑结构属于微应力支撑领域，该结构具有应力小的特点，使小孔板均匀受力，从而减少小孔板的应力变形。该结构由支撑基板和小孔板组成，在支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。本发明通过毛细现象由光学胶把小孔板和支撑基板紧密固定，使小孔板由圆心向四周发散的应力尽可能的减小，并降低小孔板的形变。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 干涉仪 小孔 支撑 结构 | ||
【主权项】：
点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，该结构包括支撑基板和小孔板，其特征在于，在所述支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；所述小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。
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