[发明专利]一种多晶硅颗粒制备系统及制备方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅颗粒制备系统，解决了现有技术的多晶硅颗粒易在流化床反应器内壁沉积，制得的多晶硅颗粒粒径不均匀，多晶硅晶种利用率低，多晶硅细粉损失率大的问题，其包括倾斜设置的旋转式流化床、一级旋风分离器、二级旋风分离器、载气过滤器、物料预热储罐及尾气缓冲罐，旋转式流化床中间的反应筒体部分可相对两端的封头转动，且旋转式流化床中设置有折流挡板，本发明能有效抑制多晶硅颗粒易在流化床反应器内壁沉积，提高多晶硅晶种利用率，降低多晶硅细粉损失率。本发明还公开了一种多晶硅颗粒制备方法，该制备方法工艺过程稳定，操作连续性好，多晶硅晶种利用率高，多晶硅生产效率高，且得到的多晶硅颗粒粒径均匀。

主权项

一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，包括倾斜设置的旋转式流化床、一级旋风分离器（16）、二级旋风分离器（20）、载气过滤器（21）、物料预热储罐（14）及尾气缓冲罐（13），所述旋转式流化床包括均固定设置的上封头（2）、下封头（3），所述上封头（2）、下封头（3）之间密封式设置有反应筒体（1），所述上封头（2）、下封头（3）与反应筒体（1）转动连接，反应筒体（1）外部设有第一加热装置（12），所述上封头（2）上的尾气出口通过管道与尾气缓冲罐（13）相连，所述物料预热储罐（14）外部设有第二加热装置（15），物料预热储罐（14）底部出口通过管道与上封头（2）上的多晶硅晶种入口相连，所述下封头（3）底部出口通过管道与一级旋风分离器（16）顶部进口相连，下封头（3）上还设有连接硅源气体管道的硅源气体进口（17），所述一级旋风分离器（16）侧壁上设有第一载气入口（18），一级旋风分离器（16）底部设有收集口（19），一级旋风分离器（16）顶部的第一载气出口通过管道与二级旋风分离器（20）顶部的第二载气入口相连，所述二级旋风分离器（20）顶部的第二载气出口通过管道与载气过滤器（21）中部的进口相连，所述载气过滤器（21）底部出口通过管道与二级旋风分离器（20）上部的物料回收进口相连，二级旋风分离器（20）底部出口与物料预热储罐（14）顶部进口相连。