[发明专利]滴状体配置方法及装置、图案形成方法、模板图案的设计方法

摘要

实施方式的滴状体配置方法包括：将基体的面划分为第1区域并对每个第1区域求出滴状体的量的工序；求出滴状体的总量的工序；求出滴状体的总数的工序；根据模板的接触方式求出暂定的滴状体的配置的工序；将各第1区域分配至最接近的滴状体、将第1区域的集体作为第2区域通过第2区域重新划分的划分工序；以及对每个第2区域求出评价值的评价值计算工序。另外，该实施方式的滴状体配置方法，在评价值的分布处于作为目标的范围内时，确定滴状体的位置，在评价值的分布不处于作为目标的范围内时，重复进行变更至少任一个滴状体的位置的工序、划分工序及评价值计算工序。

主权项

一种滴状体配置方法，在对在模板上形成的图案进行转印时，在基体的形成图案的面上配置多个滴状体，该滴状体配置方法包括：将上述基体的形成图案的面划分为比一个上述滴状体所占的面积小的多个第1区域，求出每个上述第1区域需要的上述滴状体的量的工序；对各第1区域中的上述滴状体的量进行合计，求出上述基体的形成图案的面的整个区域中需要的上述滴状体的量的总量的工序；将上述滴状体的量的总量除以上述滴状体的量，求出在上述基体的形成图案的面上配置的上述滴状体的总数的工序；根据上述模板的接触方式，求出上述基体的形成图案的面上的暂定的上述滴状体的配置的工序；将各第1区域分配至最接近的上述滴状体，将被分配至每个上述滴状体的上述第1区域的集体作为第2区域，通过上述第2区域将上述基体的形成图案的面重新划分的划分工序；以及对每个上述第2区域，将一个上述滴状体的量除以对于属于上述第2区域内的上述第1区域分别求出的需要的上述滴状体的量的总计来求出评价值的评价值计算工序，当上述基体的形成图案的面上的上述评价值的分布处于作为目标的范围内时，确定全部上述滴状体的位置，当上述基体的形成图案的面上的上述评价值的分布不处于作为目标的范围内时，重复进行变更至少任一个上述滴状体的位置的工序、上述划分工序及上述评价值计算工序，直到上述评价值的分布纳入作为目标的范围内为止。