[发明专利]一种基片承载装置有效
| 申请号： | 201310087567.2 | 申请日： | 2013-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103132043A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 梁会波;仲梁维 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种安装在真空镀膜机的转动轴上的基片承载装置，其特征在于，具有：连接单元，与转动轴相连；和基片承载单元，与连接单元卡合相连，包括定位台和与定位台固定相连的基片承载架，其中，定位台含有定位台本体和设置在该定位台本体上的卡槽，连接单元含有与转动轴相匹配的转动轴连接部和与基片承载单元相匹配的基片承载单元连接部，该基片承载单元连接部包含具有凹槽和设置在该凹槽的槽壁上向外突出的凸槽的连接部本体和安装在连接部本体上的卡紧机构，凹槽与定位台本体相嵌合，卡紧机构含有安装在凸槽内的锁舌、用于推动锁舌进入卡槽内的推力构件以及用于拉动锁舌离开卡槽的拉柄。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 | ||
【主权项】：
一种安装在真空镀膜机的转动轴上的基片承载装置，其特征在于，具有：连接单元，与所述转动轴相连；和基片承载单元，与所述连接单元卡合相连，包括定位台和与所述定位台固定相连的基片承载架，其中，所述定位台含有定位台本体和设置在该定位台本体上的卡槽，所述连接单元含有与所述转动轴相匹配的转动轴连接部和与所述基片承载单元相匹配的基片承载单元连接部，该基片承载单元连接部包含具有凹槽和设置在该凹槽的槽壁上向外突出的凸槽的连接部本体和安装在所述连接部本体上的卡紧机构，所述凹槽与所述定位台本体相嵌合，所述卡紧机构含有安装在所述凸槽内的锁舌、用于推动所述锁舌进入所述卡槽内的推力构件以及用于拉动所述锁舌离开所述卡槽的拉柄。
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