[发明专利]多晶硅锭及其制造方法有效
申请号: | 201310088039.9 | 申请日: | 2013-03-19 |
公开(公告)号: | CN103132142A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 潘家明;李孟;方军杰 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 071051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种多晶硅锭制造方法,包括以下步骤:A、将硅料装载到多晶铸锭炉的坩埚内;B、对所述坩埚进行加热,全部熔化所述硅料,得到硅液;C、对所述坩埚底部进行降温,使硅液从所述坩埚底部开始结晶,直至形成3毫米~30毫米高度的晶粒层;D、对所述坩埚进行升温,使硅液结晶速度降低至5毫米/小时~25毫米/小时之间,包括端点值;E、对所述坩埚进行降温,使结晶速度保持在步骤D中的结晶速度范围,直至多晶硅锭生长完成;其中,步骤C的结晶速度大于步骤D的结晶速度。采用此方法制作的多晶硅锭,晶粒大小均匀,多晶硅锭的缺陷也呈现分散的均匀的分布,因而能够在后续的制绒环节腐蚀出均匀的绒面,从而提高多晶硅电池光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅锭制造方法,其特征在于,包括以下步骤:A、将硅料装载到多晶铸锭炉的坩埚内;B、对所述坩埚进行加热,全部熔化所述硅料,得到硅液;C、对所述坩埚底部进行降温,使硅液从所述坩埚底部开始结晶,直至形成3毫米~30毫米高度的晶粒层;D、对所述坩埚进行升温,使硅液结晶速度降低至5毫米/小时~25毫米/小时之间,包括端点值;E、对所述坩埚进行降温,使结晶速度保持在步骤D中的结晶速度范围,直至多晶硅锭生长完成;其中,步骤C的结晶速度大于步骤D的结晶速度。
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