[发明专利]一种铝钕合金靶材的生产方法有效
| 申请号： | 201310088198.9 | 申请日： | 2013-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103184419A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 赵珍珍;方庆;谢玉 | 申请（专利权）人： | 昆山海普电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22F1/04 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 汪青 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铝钕合金靶材的生产方法，其包括（1）将铝锭和金属钕块切割成细条，表面超声波清洗，烘干，称量装炉，将炉体抽真空，氧化铝坩埚升温至800~1000℃，真空中频感应熔炼，停电、铜质水冷模浇铸铸锭，随炉冷，破真空取锭；（2）高温消除铸造应力并成分均匀化退火处理，然后将铝钕合金锭表面车削扒皮、切头部缩孔；（3）加热至350~600℃进行热锻打，直至合金厚度为15~30mm；（4）加热至350~500℃，轧制处理，轧制的道次变形率为10%~30%；（5）进行去应力退火；（6）机加工。本发明所得铝钕合金靶材致密度高、晶粒大小分布均匀，适于平板显示面板的连接薄膜的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种铝钕靶材的制造方法，其特征在于：包括依次进行的如下步骤：（1）将铝锭和金属钕块切割成细条，然后表面超声波清洗，烘干，称量装炉，将炉体抽真空至0.01Pa级，氧化铝坩埚升温至800~1000℃，真空中频感应熔炼，停电、铜质水冷模浇铸铸锭，随炉冷，破真空取锭；（2）高温消除铸造应力并成分均匀化退火处理，退火温度为200~400℃，保温时间2~5小时，然后将铝钕合金锭表面车削扒皮、切头部缩孔；（3）加热至350~600℃进行热锻打，直至合金厚度为15~30mm；（4）加热至350~500℃，轧制处理，轧制的道次变形率为10%~30%；（5）进行去应力退火，退火温度为200~400℃，退火时间为2~5小时；（6）、机加工获得指定尺寸的铝靶材产品。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山海普电子材料有限公司，未经昆山海普电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310088198.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
