[发明专利]接触式测头及一种表面高反薄板材厚度测量方法

摘要

本发明公开了一种接触式测头及一种表面高反薄板材厚度测量方法，接触式测头包括测头安装座、探针、方形空气导轨、激光位移传感器和光栅尺，所述测头安装座上固定有测头安装底板，所述测头安装底板上固定有方形空气导轨，所述方形空气导轨包括导芯和套在所述导芯上的方形导轨导向座，所述导芯顶端设有进气口，底端固定有所述探针，所述方形导轨导向座的一个外侧面开有方形导轨进气口，所述方形导轨导向座内设有导气槽，四个内侧面上开有导向面开口，所述导气槽内的压缩空气进入导向面开口并在所述方形导轨导向座和导芯之间形成气膜层。本发明采用测量力精确可控的高精度接触式测头来进行高反材料厚度测量，完全排除了非接触式测量所存在的技术问题。

主权项

接触式测头，其特征在于，包括测头安装座、探针、方形空气导轨、激光位移传感器和光栅尺，所述测头安装座上固定有测头安装底板，所述测头安装底板上固定有方形空气导轨，所述方形空气导轨上端固定有空气导轨进气座，所述空气导轨进气座上设有空气导轨导芯供气接头，所述方形空气导轨包括导芯和套在所述导芯上的方形导轨导向座，所述导芯顶端设有进气口，底端固定有所述探针，所述方形导轨导向座的一个外侧面开有方形导轨进气口，所述方形导轨导向座内设有导气槽，四个内侧面上开有导向面开口，所述导气槽内的压缩空气进入导向面开口并在所述方形导轨导向座和导芯之间形成气膜层，所述探针上套有精密弹簧，所述探针的底端固定有接触工件表面的红宝石球，所述光栅尺固定于所述导芯的顶端，通过与所述光栅尺平行安装的所述激光位移传感器来测定所述探针随工件表面形貌变化而导致导芯上下垂直运动的位移量。