[发明专利]用于离子束系统的间热式宽带束离子源和宽带离子束系统有效
| 申请号： | 201310089797.2 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103247505A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 黄永章 | 申请（专利权）人： | 宁波瑞曼特新材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 315470 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造设备，其公开了一种用于离子束系统的间热式宽带束离子源，包括弧室、双间接加热式阴极、多通道气体入口装置、窗框型源磁铁、限制源磁铁下游的的磁场分布范围的磁屏蔽装置、放置在所述弧室内部的内部电极以及给所述弧室、双间接加热式阴极、窗框源磁铁和放置在所述弧室内部的内部电极供电的电源。本发明的有益效果是：通过采用双间热式阴极，具有可调节局部磁场的源磁铁，具有可调节的多个电极，从而进一步达到调接弧室内的等离子体密度分布的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子束 系统 间热式 宽带 离子源 | ||
【主权项】：
一种用于离子束系统的间热式宽带束离子源，其特征在于：包括弧室、双间接加热式阴极、多通道气体入口装置、窗框型源磁铁、限制源磁铁下游的的磁场分布范围的磁屏蔽装置、放置在所述弧室内部的内部电极以及给所述弧室、双间接加热式阴极、窗框源磁铁和放置在所述弧室内部的内部电极供电的电源。
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