[发明专利]一种光波导的热压印装置

摘要

本发明公开了一种光波导的热压印装置，特点是：热压印腔体的顶部设有盖板，热压印腔体固设在样品台的上方，热压印腔体内设有工作腔，工作腔内设置有能够耐高温的膜层，膜层将工作腔分隔成压力腔和真空腔，压力腔位于真空腔的上方，压力腔通过气体管道与气动增压装置相连，样品台的台面上放置有模具，模具位于真空腔内，样品台的下方设置有带有温控系统的加热装置，样品台与加热装置之间具有间隙，样品台内设置有热缓冲腔，真空腔与热缓冲腔相连通，热缓冲腔的一侧与冷却装置相连，热缓冲腔的另一侧与抽真空装置相连；优点是：热压印的温度、冷却和压力可控，使热压印样品受热均匀，热压印后脱模顺利，可大大提高光波导的热压印质量。

主权项

一种光波导的热压印装置，包括底座、底部开口的热压印腔体和设置在底座上的样品台，其特征在于：所述的热压印腔体的顶部设有盖板，所述的热压印腔体固设在所述的样品台的上方，所述的热压印腔体内设有工作腔，所述的工作腔内设置有能够耐高温的膜层，所述的膜层将所述的工作腔分隔成压力腔和真空腔，所述的压力腔位于所述的真空腔的上方，所述的压力腔通过气体管道与气动增压装置相连，所述的样品台的台面上放置有模具，所述的模具位于所述的真空腔内，所述的样品台的下方设置有带有温控系统的加热装置，所述的样品台与所述的加热装置之间具有间隙，所述的样品台内设置有热缓冲腔，所述的真空腔与所述的热缓冲腔相连通，所述的热缓冲腔的一侧与冷却装置相连，所述的热缓冲腔的另一侧与抽真空装置相连。