[发明专利]脉冲序列退火方法和设备

摘要

本发明通常描述用来在衬底的期望区域上执行退火工艺的设备和方法。在一个实施例中，利用闪光灯或激光设备，将脉冲电磁能量供给到衬底上。该脉冲可以是从约1纳秒到约10毫秒长，并且每个脉冲具有比熔化衬底材料需要的能量小的能量。脉冲之间的能量间隔通常足够长，以允许由每个脉冲给予的能量完全消散。由此，每个脉冲实现一个微退火循环。脉冲可以被一次性供给到整个衬底上，或者一次性供给到衬底的一部分上。此外实施例提供了一种用来供电辐射组件的设备，和用来检测衬底上的脉冲的效果的设备。

主权项

一种用于处理衬底的设备，包括：主体部分；连接到主体部分的第一端的衬底支架；连接到主体部分的第二端的辐射组件；设置在辐射组件中的辐射源，所述辐射源具有多个激光器，每个激光器包括开关；连接到每个开关以形成电磁辐射脉冲的控制器，其中所述辐射组件接收电磁辐射脉冲并产生具有时间形状的电磁辐射脉冲；和检测器，用于检测对电磁辐射的反射脉冲的声波响应。