[发明专利]低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统无效
申请号: | 201310093168.7 | 申请日: | 2013-03-22 |
公开(公告)号: | CN103148929A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 雷李华;高婧;孙晓光;毛辰飞;范国芳;杨柯;翁浚婧 | 申请(专利权)人: | 上海市计量测试技术研究院 |
主分类号: | G01H9/00 | 分类号: | G01H9/00 |
代理公司: | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人: | 陈志良 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明为一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统,其特征在于所述测振系统的装置及连接关系为:光源由普通驱动电源驱动;沿光源发射光前进方向依次放置要检测的振动台,微悬臂系统;所述的光源传出的光在光纤(3)中传播;所述的压电阶段包括粘附有光纤(3)的待测的振动台、微悬臂系统以及显微镜,显微镜设于振动台和微悬臂系统的上方;所述的微悬臂系统包括可调的三维平台和粘附在其上的末端为纳米针尖探针的光纤(5),光纤(5)的另一端与光电转换装置的输入端连接;所述的光电转换装置的输出端与数据采集和处理装置连接;所述的数据采集和处理装置与信号监视器连接。本发明设计了带纳米针尖探针的光纤及微悬臂系统,适用于低频信号的检测。 | ||
搜索关键词: | 损耗 分辨率 光纤 系统 | ||
【主权项】:
一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统,其特征在于所述测振系统的装置及连接关系为:光源(2)由普通驱动电源(1)驱动;沿光源(2)发射光前进方向依次放置要检测的振动台(6),微悬臂系统(7);所述的光源(2)传出的光在光纤(3)中传播;所述的压电阶段(11)包括粘附有光纤(3)的待测的振动台(6)、微悬臂系统(7)以及显微镜(4),显微镜(4)设于振动台(6)和微悬臂系统(7)的上方;所述的微悬臂系统(7)包括可调的三维平台(14)和粘附在其上的末端是纳米针尖探针的光纤(5),光纤(5)的另一端与光电转换装置(8)的输入端连接;所述的光电转换装置(8)的输出端与数据采集和处理装置(9)连接;所述的数据采集和处理装置(9)与信号监视器(10)连接。
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