[发明专利]位置测量设备和具有这种位置测量设备的装置

摘要

本发明涉及位置测量设备和具有这种位置测量设备的装置。该位置测量设备用于检测第一对象相对于第二对象的位置，其中第一和第二对象被布置为能沿着至少两个测量方向相对运动。位置测量设备具有光学单元，该光学单元与两个对象之一连接并且以所定义的布置具有至少一个光源、探测器装置以及另外的光学元件。该位置测量设备还包括计量用具‑反射器单元，该计量用具‑反射器单元布置在另一对象处并且具有轨迹中的至少两个被不同地构造的区域，所述区域为了位置检测而能用光学单元光学扫描。通过所述区域的不同构造可以在光学检测时在不同的测量方向之间转换；可以利用所述光学单元为每个测量方向分别生成关于两个对象的相对运动的位置信号。

主权项

一种用于检测第一对象（1）相对于第二对象（5）的位置的位置测量设备，其中第一和第二对象被布置为沿着至少两个测量方向（x,y,z）能相对运动，所述位置测量设备具有：－光学单元（2），其与两个对象之一连接并且以所定义的布置包括至少一个光源、探测器装置以及另外的光学元件，和－计量用具‑反射器单元（3,30’），其布置在两个对象中的另一对象处并且具有轨迹（3.1,3.4,3.4’）中的至少两个被不同地构造的区域（3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’），这些区域为了位置检测而能用光学单元（2）光学扫描，其中通过区域（3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’）的不同构造能够在位置检测时在不同的测量方向（x,y,z）之间转换并且能够利用光学单元（2）为每个测量方向（x,y,z）分别生成关于两个对象的相对运动的位置信号。