[发明专利]半导体行业工厂节水用水系统无效
| 申请号： | 201310095394.9 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103145268A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 丁少华;孙叶凤 | 申请（专利权）人： | 上海华强环保设备工程有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述的节水用水系统首先对原水（市政自来水）采用离子交换剂作软化处理，经软化后的水进入超纯水UPW系统，大部分制成超纯水供企业半导体生产用水；超纯水UPW系统的排水进入第一收集槽后分为三路利用，一路供企业冷却塔系统补水用，一路供企业生活区冲厕所用，还有一路供给预处理过滤器的反冲洗用，所述半导体生产用水经使用后的排水进入第二收集槽进行膜过滤将固液分离，膜过滤后的水回收作为超纯水UPW系统中的第二级反渗透补给水。本发明采用运筹学这一数学和社会科学交叉的学科理论，从水量平衡和适用水质角度建立水资源管理模型，实现水资源的重复利用。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 行业 工厂 节水 水系 | ||
【主权项】：
一种半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述的节水用水系统首先对原水采用离子交换剂作软化处理，经软化后的水进入超纯水UPW系统，大部分制成超纯水供企业半导体生产用水；超纯水UPW系统的排水进入第一收集槽后分为三路利用，一路供企业冷却塔系统补水用，一路供企业生活区冲厕所用，还有一路供给预处理过滤器的反冲洗用，所述半导体生产用水经使用后的排水进入第二收集槽进行膜过滤将固液分离，膜过滤后的水回收作为超纯水UPW系统中的第二级反渗透器补给水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华强环保设备工程有限公司，未经上海华强环保设备工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310095394.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
