[发明专利]基于MEMS透射光阀的显示装置及其形成方法有效
| 申请号： | 201310095739.0 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN104058363A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 毛剑宏;唐德明 | 申请（专利权）人： | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G02B26/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS透射光阀的显示装置及其形成方法，包括提供包括底层半导体、中间埋层和顶层半导体的多层复合半导体衬底；在所述顶层半导体中形成导光口；在所述顶层半导体剩余部分中制备至少一个MOS器件；在所述MOS器件上形成互连层和层间介质层；在所述导光口上形成与互连层导电相连的MEMS透射光阀，所述MEMS透射光阀被所述层间介质层包围；在所述层间介质层上表面形成透明背板，以及去除所述底层半导体。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 透射 显示装置 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，包括下列步骤：提供包括底层半导体、中间埋层和顶层半导体的多层复合半导体衬底；在所述顶层半导体中形成导光口；在所述顶层半导体剩余部分中制备至少一个MOS器件；在所述MOS器件上形成互连层和层间介质层；在所述导光口上形成与互连层导电相连的MEMS透射光阀，所述MEMS透射光阀被所述层间介质层包围；在所述层间介质层上表面形成透明背板，以及去除所述底层半导体。
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