[发明专利]一种用于离子注入机靶室的法拉第系统及离子束束流品质检测的方法

摘要

本发明公开了一种用于离子注入机靶室的法拉第系统及离子束束流品质检测的方法。所述用于离子注入机靶室的法拉第系统包括进行离子注入工艺的腔体，即靶室、以及固定晶片的装置靶台、一个移动法拉第、一个闭环法拉第、一个角度法拉第、一个电子淋浴器。所述离子束束流品质检测的方法为，在注入工艺前，有离子注入设备经离子源产生等离子体，经过引出装置引出，再经过质量分析器来筛选出合适的离子，然后被加速，电扫描最后进入靶室。本发明测得的离子束满足注入指标要求后，靶台运动到注入的位置准备注入，同时为了消除电荷积累对晶片产生不良影响，采用电子淋浴器来产生电子中和离子束的正电荷，提高了产品的良品率。

主权项

一种用于离子注入机靶室的法拉第系统，其特征是，包括具有真空腔体的靶室（20）；置于靶室（20）内的靶台（21）、移动法拉第（30）、角度法拉第（34）、闭环法拉第（32）和电子淋浴器（26）；用于固定工件（12）的所述靶台（21）位于电子淋浴器（26）的正下方；用于检测离子束（10）注入工件（12）之前的束流量的所述移动法拉第（30）位于靶室（20）上部，且可沿着离子束（10）宽度方向，即X方向往复移动；与所述移动法拉第（30）配合测量离子束（10）相对于X方向的倾斜角度α并监控离子束（10）剂量的所述角度法拉第（34）位于靶室（20）下部；用于实时监控离子束（10）的注入束流和剂量的所述闭环法拉第（32）位于电子淋浴器（26）与角度法拉第（34）之间，且该闭环法拉第（32）位于离子束（10）的外侧；所述角度法拉第（34）由多个法拉第杯（35）在X方向上并列布置而成，且两端的两个法拉第杯之间的距离不小于离子束（10）的束宽，所述移动法拉第（30）和闭环法拉第（32）各包括一个法拉第杯（35）；用于在离子注入前中和离子束（10）中电子的所述电子淋浴器（26）位于移动法拉第（30）和靶台（21）之间；所述法拉第杯（35）包括磁抑制装置（5），位于磁抑制装置（5）两磁极之间的外电极（2），位于外电极（2）内侧的内电极（3），位于外电极（2）和内电极（3）之间的抑制电极（4）；所述抑制电极（4）与所述内电极（3）电连接。