[发明专利]光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法

摘要

一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连续可变、单环形照明模式和双环形照明多种照明模式。

主权项

一种光刻机光瞳整形光学系统，其特征在于其构成包括模式产生单元（1）、可旋转波片（2）、偏振分光单元（3）、环一产生单元（4）和环二产生单元（5），所述模式产生单元（1）由衍射光学元件（101）和变焦准直镜组（102）组成，更换不同的衍射光学元件（101）以分别实现传统照明、二极照明和四极照明模式；所述的环一产生单元（4）由第一四分之一波片（401）、第一凸锥形镜（402）和第一可动反射镜（403）组成；所述环二产生单元（5）由第二四分之一波片（501）、第二凸锥形镜（502）和第二可动反射镜（503）组成；上述元部件的位置关系如下：沿z轴正方向依次为衍射光学元件（101）、变焦准直镜组（102）、可旋转波片（2）、偏振分光单元（3）、第一四分之一波片（401）、第一凸锥形镜（402）、第一可动反射镜（403），所述第一凸锥形镜（402）的锥尖正对着所述第一可动反射镜（403），所述第一可动反射镜上镀有保偏反射薄膜，所述第一可动反射镜具有可连续调整所述第一凸锥形镜的锥尖相对于所述第一可动反射镜之间的距离的机构；入射光经所述的偏振分光单元（3）分为反射光和透射光，沿偏振分光单元（3）反射光方向依次为第二四分之一波片（501）、第二凸锥形镜（502）和第二可动反射镜（503），所述第二凸锥形镜（502）的锥尖正对着所述第二可动反射镜（503），所述第二可动反射镜（503）上镀有保偏反射薄膜，所述第二可动反射镜具有可连续调整所述第二凸锥形镜的锥尖相对于所述第二可动反射镜之间的距离的机构；所述衍射光学元件（101）的后表面位于所述变焦准直镜组（102）的前焦面上。