[发明专利]一种制备金属TiN陶瓷涂层的工艺方法有效

专利信息
申请号: 201310096474.6 申请日: 2013-03-22
公开(公告)号: CN103233219A 公开(公告)日: 2013-08-07
发明(设计)人: 潘太军;张保;李杰;汪涛 申请(专利权)人: 常州大学
主分类号: C23C24/10 分类号: C23C24/10;C23C8/36
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213164 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明采用高能微弧合金化技术和辉光离子渗氮技术相结合的方法,在金属表面制备TiN涂层,首先通过高能微弧合金化技术在金属表面沉积一层纯Ti涂层,制备过程中选用一定规格的纯Ti作为沉积电极,通过控制制备过程中关键技术参数,可以实现纯钛层厚度可变;然后将沉积好的纯钛层通过辉光离子渗氮技术进行渗氮处理形成TiN层,处理过程中,炉体作为阳极,钛层作为阴极,通入氨气或者氢气与氮气的混合气体,辉光放电产生的氮离子、氮原子很容易被微晶化的Ti层吸附渗透,在微晶化的Ti层表面形成TiN涂层。
搜索关键词: 一种 制备 金属 tin 陶瓷 涂层 工艺 方法
【主权项】:
一种制备金属表面TiN涂层的方法,其特征在于:所述的方法为,首先通过高能微弧合金化技术在金属表面沉积一层纯Ti涂层,然后将沉积好的纯钛层,通过辉光离子渗氮技术进行渗氮处理,形成TiN层。
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