[发明专利]基板检查装置及基板检查方法

摘要

本发明提供基板检查装置及基板检查方法，使用蚀刻模拟来进行误检测少的缺陷检查，且无须为了测量蚀刻信息而使基板在多个装置之间移动。所述基板检查装置根据形成在基板的表面的测量用图案来测量蚀刻曲线，使用该蚀刻曲线进行蚀刻模拟，由此生成检查数据。而且，通过将该检查数据、与形成在基板的表面的配线图案的图像数据加以对照，来检测缺陷。因此，可根据对应于蚀刻曲线而生成的检查数据，来进行误检测少的缺陷检查。而且，在单一的基板检查装置中可进行蚀刻曲线的测量、蚀刻模拟、及缺陷的检测。因此，无须使基板在多个装置之间移动。

主权项

一种基板检查装置，进行通过蚀刻而形成在基板的表面的配线图案的缺陷检查，其特征在于包括：信息测量单元，根据形成在所述基板的表面的测量用图案来对蚀刻信息进行测量；模拟单元，使用所述蚀刻信息，对设计数据进行蚀刻模拟，由此来生成检查数据；以及缺陷检测单元，对形成在所述基板的表面的所述配线图案进行拍摄，通过将所获得的图像数据与所述检查数据加以对照，来检测缺陷。