[发明专利]金属掩模安装方法无效
| 申请号： | 201310097281.2 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103361599A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 河野克巳;寺本亮 | 申请（专利权）人： | 新东超精密有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;车文 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属掩模安装方法，能够使金属掩模的检查对象区域的位置在固定前与固定后难以发生偏移。上述金属掩模安装方法包含：张力施加工序，使用一对张力装置（6）沿金属掩模（2）的长度方向施加张力；及安装工序，将在上述张力施加工序中被施加了上述张力的上述金属掩模安装于金属掩模框（4），在上述张力施加工序中，使上述一对张力装置从上述金属掩模所受的反力传递至上述金属掩模框。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 安装 方法 | ||
【主权项】：
一种金属掩模安装方法，包含：张力施加工序，使用一对张力装置沿金属掩模的长度方向施加张力；及安装工序，将在所述张力施加工序中被施加了所述张力的所述金属掩模安装于金属掩模框，所述金属掩模安装方法的特征在于，在所述张力施加工序中，使所述一对张力装置从所述金属掩模所受的反力传递至所述金属掩模框。
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