[发明专利]RF发生器的双峰自动功率和频率调谐的系统及方法有效
| 申请号： | 201310097480.3 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103327724A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 拉里·J·菲斯克二世;哈米西·鲁格胡努尼多 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 宋颖娉;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种射频发生器的双峰自动功率和频率调谐的系统及方法。所述射频发射器包括功率控制模块、频率控制模块和脉冲发生模块。所述功率控制模块被配置为产生表示功率发生器的目标状态的功率水平的功率信号。所述频率控制模块被配置为产生表示所述功率放大器的所述目标状态的频率的频率信号。所述脉冲发生模块被配置为（i）向所述功率放大器供应输出信号，（ii）调出所述功率放大器的所述目标状态之一的最新功率水平和最新频率中的至少一个，并且（iii）基于所述功率放大器的所述最新功率水平和所述最新频率中的至少一个、所述功率信号和所述频率信号，将所述输出信号的当前功率水平和当前频率从第一状态调节至第二状态。 | ||
| 搜索关键词： | rf 发生器 双峰 自动 功率 频率 调谐 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种射频发生器包括：功率控制模块，配置为产生表示功率放大器的多个目标状态的功率水平的功率信号；频率控制模块，配置为产生表示所述功率放大器的多个目标状态的频率的频率信号；以及脉冲发生模块，配置为（i）向所述功率放大器供应输出信号，（ii）调出所述功率放大器的所述多个目标状态之一的最新功率水平和最新频率中的至少一个，（iii）基于所述功率放大器的所述最新功率水平和所述最新频率中的至少一个、所述功率信号和所述频率信号，将所述输出信号的当前功率水平和当前频率从第一状态调节至第二状态。
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