[发明专利]一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法无效
| 申请号： | 201310098554.5 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103217125A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 沈正祥;徐旭东;孙晓雁;王晓强;马彬;程鑫彬;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法。所述检测装置包括：二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，具体步骤为：将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；调节二维平移台到达指定目标分布区域，使干涉仪出瞳对准平面光学元件的几何中心部分，干涉仪对该几何中心部分进行采集测量计算，得到该子孔径面型信息；重复前述步骤，直到完成全部子孔径的测量，即可实现所述平面光学元件的子孔径测量。本发明针对高精度平面光学元件面形平面度较高的特点，通过一定拼接算法恢复完整被测平面元件面型，为高精度平面光学元件面型检验提供一种经济有效的检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 孔径 拼接 高精度 平面 光学 元件 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法，其特征在于采用平面光学元件检测装置进行检测，所述检测装置包括二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，所述标准平面透镜固定于干涉仪出瞳端，所述二维平移台上放置有平面光学元件，所述干涉仪的出瞳正对平面光学元件，使平面光学元件平行于标准平面透镜，以便测量干涉图像，具体步骤如下：(1)将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；(2)调节二维平移台到达指定目标分布区域；(3)使干涉仪出瞳对准平面光学元件进行采集测量计算，得到该子孔径面型信息；(4)重复步骤(2)和(3)，直到完成全部子孔径的测量，即可实现所述平面光学元件的子孔径测量。
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