[发明专利]基于飞秒激光微加工的光纤光栅氢气传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201310098950.8 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103175784A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 戴玉堂;杨明红;周广福;胡华东 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;B23K26/00;G02B6/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张安国;伍见 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种基于飞秒激光微加工的光纤光栅氢气传感器及其制备方法。该传感器的制备主要是通过飞秒激光在光纤光栅包层制备直槽阵列或交叉螺旋槽三维微结构，再镀上钯合金膜，从而大幅提高其灵敏度，延长薄膜寿命。其特点是引入飞秒激光微加工技术，借助夹具，先在包层上快速扫描以获得无规则微坑，再在光栅包层内部制备三维微结构。带有微结构的光纤光栅镀膜后，吸氢表面积大增，光纤轴向变得柔软，吸氢膨胀应变导致光栅波长漂移量大幅增加，从而提高测量精度，拓宽测量范围。具有表面微坑和曲折三维微结构的光栅包层镀膜，能大幅提高薄膜的附着力，延长薄膜寿命。本发明传感器具有灵敏度高、测量范围宽、使用寿命长、适合远距离监测等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 加工 光纤 光栅 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光纤光栅氢气传感器，其特征在于，该传感器外包层上有微纳尺度的微坑，在光纤光栅包层内部加工有三维微结构，在光纤光栅微结构区域镀有PdNi或 PdAg合金敏感薄膜。
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