[发明专利]一种具有纳米异质复合结构的紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于TiO2/ZnO纳米异质复合结构的紫外光探测器结构，其最底层为基底材料，其上为叉指电极，并覆盖一层ZnO薄膜，薄膜之上为ZnO纳米棒，纳米棒表面为TiO2纳米结构。本发明还公开了所述紫外光探测器的制备方法：（1）在基底薄片上镀上金属电极形成叉指电极；（2）镀上ZnO薄膜；（3）合成ZnO纳米棒阵列；（5）在ZnO纳米棒表面形成TiO2纳米结构。本发明的紫外光探测器在保持ZnO紫外探测器超高光电流增益的同时引入TiO2纳米结构，形成异质结能够消除ZnO表面氧空穴陷阱态的影响，同时加快载流子分离减少复合，必然显著提高探测器的灵敏度和光电流增益，此外TiO2的包裹将显著提高探测器的化学稳定性。

主权项

一种具有TiO2/ZnO纳米异质复合结构的紫外光探测器的制备方法，包括： 在基底上镀上金属薄膜以形成叉指电极的步骤； 在上述器件表面镀上ZnO薄膜以覆盖所述叉指电极的步骤； 在ZnO薄膜表面生长ZnO纳米棒阵列的步骤； ZnO纳米棒表面生长TiO2纳米结构的步骤。