[发明专利]一种蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201310100019.9 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103173768A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 郭钟宁;宋卿;黄红光;唐勇军;张永俊;王冠 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种对工件进行化学蚀刻加工中所用的蚀刻液，所述蚀刻液包括以下重量百分比的组分：三氯化铁20～50%、硝酸10～15%、氯化钠5～10%，余量为水。本发明所公开的蚀刻液，能够将所蚀刻金属成分中呈离子状态易结合生成难溶物质的镍、硅等离子转化生成可溶性盐，增强蚀刻液对金属的蚀刻能力，提高了反应速率，同时，可在工件表面掩膜覆盖部分自下而上发生侧蚀，侧蚀速率平稳，易于控制，被蚀刻加工的工件表面凹坑处易形成平滑过渡、截面形状近似正弦曲线的波谷，无明显棱边，具有较好的侧蚀效果。另外，本发明还公开了所述蚀刻液的制备方法，简便易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：三氯化铁20～50%、硝酸10～15%、氯化钠5～10%，余量为水。
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